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Z向壓電掃描臺 ║P625S

產品參數
運動軸 Z
行程 500μm
結構類型 復合放大式結構

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Z向壓電掃描臺 ║P625S是采用壓電陶瓷驅動的Z向納米級壓電陶瓷掃描臺,壓電掃描臺內部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向結構,采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點,壓電陶瓷掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,確保了壓電掃描臺具有極佳的運動控制精度,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統中。大中空式壓電掃描臺被廣泛應用于掃描顯微鏡、光學光刻存儲設備測試、激光技術、微加工、半導體測試、干涉測量等。


內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。

                                                                                                    

◆ 復合式柔性鉸鏈導向結構設計可實現更高的水平和垂直承載能力;

● 計量

◆ 無摩擦柔性鉸鏈并聯導向可實現極高的運動精度;

● 干涉測量

◆ 高性能壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命;

● 光子學/集成光學

◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇。

● 平版印刷術


● 納米定位


● 掃描顯微鏡


● 樣本對準


● 微加工

                                                                              

                         

型號

P621S

P623S

P625S

P62*

單位

公差

主動軸

Z

Z

Z

Z

-

-

運動和定位







傳感器類型

SGS

SGS

SGS

-

-

-

最大行程[-20V~+150V]

150

300

500

同S版

μm

±20%

標稱行程[0V~+120V]

120

240

400

同S版

μm

±20%

分辨率

1.5

3

5

同S版

nm

typ.

閉環線性度

0.12

0.12

0.12

-

%F.S.

typ.

重復定位精度

0.015

0.015

0.015

-

%F.S.

typ.

機械特性







運動方向剛度

2.2

1.6

0.8

同S版

N/μm

±20%

空載諧振頻率

460

390

260

同S版

Hz

±20%

運動方向推/拉力

120/80

160/80

100/50

同S版

N

Max.

承載能力

50

50

50

同S版

N

Max.

其他







工作溫度

-20~80

-20~80

-20~80

同S版

-

材質

鋁,鋼

鋁,鋼

鋁,鋼

同S版

-

-

外形尺寸

150x150x35

150x150x35

150x150x35

同S版

mm

-

通光孔徑

75x75

75x75

75x75

同S版

mm

-

重量

1.5

1.6

1.65

同S版

Kg

±5%

線纜長度

1.5

1.5

1.5

同S版

m

±10mm

連接器類型

LEMO│D-Sub9

LEMO│D-Sub9

LEMO│D-Sub9

同S版

-

-

注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。

專業知識與技術

  • 超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統

    突出優勢:獨特的超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統。研生科技設計開發的并聯式柔性鉸鏈導向結構技術已成功轉化為系列化產品,并廣泛應用于各相關應用領域……

    10-10
  • 柔性鉸鏈導向放大結構

    在納米定位技術中,柔性鉸鏈導向系統可實現高達幾毫米的定位任務。柔性鉸鏈的運動基于固體的彈性變形。這避免了靜態、滾動或滑動摩擦,其優點是高剛性、高承載和耐磨性。柔性鉸鏈無需維護,可使用非磁性材料制造,不需要潤滑劑或消耗品,因此可在真空環境下工作。壓電陶瓷促動器的行程也可通過集成杠桿機構增加。促動器被機械地集成在柔性鉸鏈結構內,行程可擴展至2 mm。由于簡單的杠桿結構會使系統失去了相當數量的指導精度和剛度,所以需要設計更復雜的柔性鉸鏈導向結構。柔性鉸鏈可實現超高路徑精度的運動。為了補償高速或橫向偏移,研生公司開發出了多種特殊的復合式多連桿柔性導向結構。這些導向系統應用于各類納米級精密定位系統中,可實現在亞納米或微弧度范圍內的運動精度。

    03-06
  • 壓電陶瓷促動器(二)

    壓電陶瓷堆疊型促動器的位移通常可達幾十微米,最大可達幾百微米。柔性鉸鏈導向結構可通過設計,使其作用原理如同一根機械杠桿,對壓電陶瓷促動器的位移進行機械放大,必要時將促動器引導至一個不同的方向上。杠桿放大系統的設計十分嚴苛:一方面,其應防止側向偏移,另一方面,其應始終沿直線進行導向,杠桿通常是通過一個樞軸點進行引導。此外,行程的增大將導致剛度減小。柔性鉸鏈導向可通過設計,使其進一步集成無需額外導向。柔性鉸鏈結構是用作導向和杠桿系統,在具有更高集成度的壓電陶瓷系統中作用也是如此。

    02-28
  • 并聯運動壓電陶瓷定位系統

    在多軸并聯系統中,所有促動器直接作用于單一運動平臺。這意味著可以為所有軸設計相同的動態特性,從而大幅降低移動質量。優勢:并聯運動系統可比串行堆疊或嵌套系統設計得更緊湊。單個軸的誤差和質量不會累積。由于最小化質量慣性,并聯運動系統可提供多達6個水平的自由度和所有軸的高動態。多軸并聯運動允許使用直接平行計量,測量所有有關固定參考的移動平臺的自由度。例如,由于力的作用而意外的串擾進入不同軸,因此可檢測并實時糾正。這種積極的實時校準即使在動態運行時,也可實現納米范圍內的運動精度。

    02-20
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Piezo?Nano?Positioning

Z向壓電掃描臺 ║P625S

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