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壓電促動器 ║VS12_系列

產品參數
分辨率 亞納米量級
響應時間 亞毫秒量級
驅動電壓 0V~+150V
使用溫度 -20℃~+80℃
結構類型 機構直驅式結構

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壓電促動器 ║VS12_系列封裝型壓電促動器采用緊湊型機械結構,克服了裸陶瓷在使用中由于端面受力不均、側面受剪切力、彎矩、扭矩、震動、沖擊和慣性力等因素造成壓電陶瓷的損壞,使得壓電陶瓷的耗損率非常高。并可在不增加外部體積的情況下內部集成高性能傳感器,以此來消除壓電陶瓷在微納運動過程中位移輸出的遲滯、蠕變和非線性等問題。

壓電陶瓷促動器可廣泛應用于顯微與成像 ? 測量/激光技術/光學檢測/摩擦學 ? 生物科技與生命科學 ? 新藥設計與醫療技術 ? 精密加工(金屬、光學、激光切割、金剛石修整) ? 半導體技術 ? 納米技術、納米制造與納米自動化 ? 數據存儲技術 ? 光電子、通信與集成光學 ? 天文與自適應光學 ? 航天/圖像處理/低溫與真空環境等領域。


內置高性能壓電陶瓷促動器具有超長使用壽命
壓電陶瓷促動器由環氧脂質涂層包裹,具有優異的防潮特性,避免漏電流增大造成故障,可實現無故障運行1000億個循環。


零間隙無摩擦柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對沖擊和振動不敏感。

                                                                                                    

◆ 價格實惠的緊湊型定位系統;

● 靜態和動態精密定位

◆ 可提供各種行程版本

● 光纖定位

◆ 多種外徑尺寸可供選擇

● 激光調諧

◆ 亞納米的分辨率

● 納米技術

◆ 亞毫秒的響應時間


◆ 可外置散熱片


◆ 內置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;


◆ 內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋,開/閉環可供選擇


型號

行程[0V...+150V]

剛度

推/拉力

靜電容量

諧振頻率

長度L


[μm]±10%

[N/μm]±20%

[N]Max.

[μF]±20%

[KHz]±20%

[mm]±0.5

VS120

9

120

1600/200

0.7

40

19

VS121

20

60

1600/200

1.8

30

28

VS122

40

25

1600/200

3.6

20

46

VS123

60

15

1600/200

5.4

15

64

VS124

80

12

1600/200

7.2

12

82

VS125

100

10

1600/200

9

10

100

VS126

120

8

1600/200

11

8

118

VS127

140

7

1600/200

13

6

136

VS128

160

6

1600/200

15

5

154

注:最大驅動電壓為-20V...+150V;長期使用建議驅動電壓為0V...+120V。

專業知識與技術

  • 超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統

    突出優勢:獨特的超高精度全并聯式柔性鉸鏈導向系統。研生科技設計開發的并聯式柔性鉸鏈導向結構技術已成功轉化為系列化產品,并廣泛應用于各相關應用領域……

    10-10
  • 柔性鉸鏈導向放大結構

    在納米定位技術中,柔性鉸鏈導向系統可實現高達幾毫米的定位任務。柔性鉸鏈的運動基于固體的彈性變形。這避免了靜態、滾動或滑動摩擦,其優點是高剛性、高承載和耐磨性。柔性鉸鏈無需維護,可使用非磁性材料制造,不需要潤滑劑或消耗品,因此可在真空環境下工作。壓電陶瓷促動器的行程也可通過集成杠桿機構增加。促動器被機械地集成在柔性鉸鏈結構內,行程可擴展至2 mm。由于簡單的杠桿結構會使系統失去了相當數量的指導精度和剛度,所以需要設計更復雜的柔性鉸鏈導向結構。柔性鉸鏈可實現超高路徑精度的運動。為了補償高速或橫向偏移,研生公司開發出了多種特殊的復合式多連桿柔性導向結構。這些導向系統應用于各類納米級精密定位系統中,可實現在亞納米或微弧度范圍內的運動精度。

    03-06
  • 壓電陶瓷促動器(二)

    壓電陶瓷堆疊型促動器的位移通常可達幾十微米,最大可達幾百微米。柔性鉸鏈導向結構可通過設計,使其作用原理如同一根機械杠桿,對壓電陶瓷促動器的位移進行機械放大,必要時將促動器引導至一個不同的方向上。杠桿放大系統的設計十分嚴苛:一方面,其應防止側向偏移,另一方面,其應始終沿直線進行導向,杠桿通常是通過一個樞軸點進行引導。此外,行程的增大將導致剛度減小。柔性鉸鏈導向可通過設計,使其進一步集成無需額外導向。柔性鉸鏈結構是用作導向和杠桿系統,在具有更高集成度的壓電陶瓷系統中作用也是如此。

    02-28
  • 并聯運動壓電陶瓷定位系統

    在多軸并聯系統中,所有促動器直接作用于單一運動平臺。這意味著可以為所有軸設計相同的動態特性,從而大幅降低移動質量。優勢:并聯運動系統可比串行堆疊或嵌套系統設計得更緊湊。單個軸的誤差和質量不會累積。由于最小化質量慣性,并聯運動系統可提供多達6個水平的自由度和所有軸的高動態。多軸并聯運動允許使用直接平行計量,測量所有有關固定參考的移動平臺的自由度。例如,由于力的作用而意外的串擾進入不同軸,因此可檢測并實時糾正。這種積極的實時校準即使在動態運行時,也可實現納米范圍內的運動精度。

    02-20
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壓電促動器 ║VS12_系列

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