壓電納米定位臺和促動器已經在許多非接觸式光學檢測系統和接觸式納米測量系統中大量運用。壓電納米定位產品所具備的亞納米精度、極好的一致性、納米至亞納米級的平面度和直線度是這些領域最新技術突破的前提。通過應用高級數字控制方法,掃描線性度可以提高數個數量級,而跟蹤誤差減小到亞原子水平。電容式納米測量傳感器可以測量亞納米范圍的運動并具有很高的帶寬。

       壓電促動器和納米定位傳感器同時也是納米壓印/微米壓印機構以及納米摩擦學/納米制造實驗的理想組件。  


測量/激光技術/光學檢測/摩擦學領域

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