由于壓電定位技術具有很多獨特之處,例如快速響應、剛性好、長壽命、無限的分辨率等,很快在從半導體測試設備到精密機械加工等許多領域中得到應用。其中,最具有代表性的應用為用于精密加工的壓電快速機床伺服系統,該類系統通常裝有特殊的防水外殼,并提供與機床相聯的機械接口。

  壓電定位系統內置測量/傳感子系統,分辨率達到納米至亞納米級,通過數字或模擬控制器可閉環工作。柔性導向機構及運動放大機構可以在增大行程的同時保護壓電陶瓷免受離軸力(側向力和扭矩)的破壞。

  壓電定位系統廣泛用于世界各地的工廠中,每天工作24小時,一周7天。它們的使用大大提高了光學器件、曲軸、軸承、活塞、汽缸等的加工精度,成為機床中金剛石修整、研磨、拋光、非圓鏜孔和磨損補償等關鍵工藝的核心部件。


超精密加工(金屬、光學、激光切割、金剛石修整)領域

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